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推薦真空技術的重要應用:詳解光刻技術的原理

真空技術的重要應用:詳解光刻技術的原理

光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻的技術。

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