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推薦磁控濺射鐵磁性靶材的主要方法

磁控濺射鐵磁性靶材的主要方法

由于磁控濺射鐵磁性靶材的難點是靶材表面的磁場達不到正常磁控濺射時要求的磁場強度,因此解決的思路是增加鐵磁性靶材表面剩磁的強度。

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