JB/T 4081-1991 濺射離子泵 型式與基本參數

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標準編號:  JB/T 4081-1991
中文標準名稱:  濺射離子泵 型式與基本參數
代替標準號:  JB4081-85,
標準簡介:
JB/T 4081-1991 濺射離子泵 型式與基本參數規定了普通型式的濺射離子泵的型式與基本參數。本標準適用于二電位的二極型和三極型濺射離子泵。
中國標準分類號:  J78

標準關注次數:  39次
標準上傳日期:  2010-1-9
發布日期:  91-07-22
實施日期:  92-07-01
標準類別:  機械行業標準
標準頁數:  
歸口單位:  沈陽真空技術所
起草人:  馮玉國
起草單位:  機械電子工業部沈陽真空技術研究所
文件格式:  PDF格式

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