氦質譜大氣累積檢漏法不確定度初步分析

真空檢漏 師立俠 北京衛星環境工程研究所

氦質譜大氣累積檢漏法不確定度初步分析

師立俠,閆榮鑫,馮 琪,竇仁超

(北京衛星環境工程研究所,北京5142 信箱46 分箱 100094)

  摘要:本文詳細介紹了氦質譜大氣累積檢漏法的基本原理。對實際采用的氦質譜大氣累積檢漏法測試過程的不確定度影響因素從檢漏口壓力、檢漏儀、放樣時間和收集室的材料等方面進行了分析,并提出了解決措施。本文的研究結論可以為氦質譜大氣累積檢漏法的工程應用提供參考。

  關鍵詞:氦質譜;檢漏;誤差