各種真空系統可容許的漏氣范圍

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    嚴格地講,任何設備都有漏氣現象存在,問題在于漏氣量對真空設備及使用目的是否有影響。漏氣發生的影響在于可能影響到達的壓力或實驗生產的純度等。如果不能造成這種不良影響,則在某種范圍內可以容許有一定的漏氣。一般而言,如下表所示的漏氣量可以容許。

    容許漏氣量=設備最低壓力 x 排氣速度 x 1/(10-100)

真空設備

容許漏氣量(Pam/s)

簡單的減壓設備

10~10

減壓干燥設備

1~10

簡單的蒸發成膜設備

10-7~10-6

高級成膜設備

10-9~10