如何有效的降低真空系統漏氣率的措施

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真空系統的結構

真空系統的結構是影響真空系統密封性和系統漏氣率的關鍵,真空系統的結構合理與否,將直接影響系統的密封性和系統的漏氣率。

1、盡可能地避免出現小曲率半徑的死角,要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。

2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過渡,使氣路暢通無阻,但要考慮清洗清掃的方便性。

3、認真設計真空室內各種連接件的結構,使氣路暢通,避免氣路堵塞。

4、打磨拋光真空系統內表面,表面越光亮就越不易氣體吸附,越容易獲得真空。

5、盡可能減小真空室的體積,縮短管路系統。

密封形式的選擇

       密封形式可根據所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式,對于人工晶體生長設備,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例,我們選擇磁性流體密封作為旋轉動密封,選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封,小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封,各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式,直徑壓縮比為25%。


    密封件材質的選用:真空度在lO-3Pa以下的真空系統,密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是,考慮到實際工作條件的需要(真空室內溫度最高可達2300oC,密封部位進行水冷后,其溫度在80oC左右,個別處溫度可達100oC以上)。所以,要選擇比較理想的密封圈材料。

    用于真空密封橡膠材料,除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外,還要求有低的滲透率和出氣率,良好的耐熱性耐油性,同時要有一定的強度、硬度和彈性等。

    各種橡膠材料的主 要性能如表 3 — 1 ~表 3-3