伯東德國Pfeiffer渦輪分子泵應用于激光分子束外延系統

技術應用 伯東德國 Pfeiffer 伯東德國 Pfeiffer

  上海伯東客戶某真空設備商采購 Pfeiffer 渦輪分子泵用于激光分子束外延系統。

  激光分子束外延(Lazer MBE)是一種晶體生長技術,將半導體襯底放置在超高真空腔體中,和將需要生長的單晶物質按元素的不同分別放在噴射爐中,由分別加熱到相應溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長出極薄的,可薄至單原子層水平,單晶體和幾種物質交替的超晶格結構。

  分子束外延主要研究的是不同結構或不同材料的晶體和超晶格的生長。該方法生長溫度低,能嚴格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度。

  分子束外延系統對真空度要求及其高,對真空腔體的密封性、材料放氣率、微量雜質氣體和水蒸氣比較敏感,本系統采用伯東德國 Pfeiffer 分子泵對超高真空腔體進行抽真空,確保超高真空及真空的穩定性,對晶格的生長起到很好的作用。

  客戶案例:上海某設備商 Lazer MBE 超高真空系統

  系統運行條件:

  1. 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長。

  2. 超高真空生長室,直徑12英寸。

  3. 額定基壓:<1x10-6 Torr

  4. 配有12個加熱泄流源

  5. 襯底加熱器加熱溫度950℃

  6. 可放置6個1"的靶及3個2"的靶

  7. 質量流量計控制進入真空腔的流量,量程 100sccm

  8. 線型進樣室實現全自動送片

  激光分子束外延伯東 Pfeiffer 分子泵配置:

  1.分子泵 Hipace 400 *1

  2.隔膜泵 MVP 020 *1

  3.分子泵 Hipace 80 *1

  4.隔膜泵 MVP 015-2 *1

  5.全量程真空計(PKR 251+TPG 261)*1

伯東德國Pfeiffer渦輪分子泵應用于激光分子束外延系統

  上海伯東主營產品:德國普發 Pfeiffer 渦輪分子泵,干式真空泵,羅茨真空泵,旋片真空泵;應用于各種真空環境下的真空計,氦質譜檢漏儀,質譜分析儀以及美國考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源,美國 HVA 真空閥門,Polycold 冷凍機,離子刻蝕機等。

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